Bahan proses semikonduktor nitrogen trifluorida
Harga satuan: USD 9999 / Ton
Min.Order |
Harga satuan |
100 Ton |
USD 9999 / Ton |
Perkenalan produk Nitrogen trifluoride (NF 3 ) adalah semacam gas yang tidak berwarna, tidak berbau dan karakter yang stabil, juga semacam oksidan yang kuat. Titik lelehnya adalah 206,8 ℃, titik didih adalah 129,0 ℃, tidak larut dalam air. Nitrogen...
Cina Bahan proses semikonduktor nitrogen trifluorida Pemasok
Nitrogen trifluorida dalam industri mikroelektronika adalah sejenis gas etsa plasma yang sangat baik, yang retak menjadi ion fluorin aktif selama proses etsa plasma. For the plasma etching of silicon and silicon nitride, using nitrogen trifluoride has higher etching rate and selectivity than using of carbon tetrafluoride or carbon tetrafluoride and oxygen mixed gas, especially in the process of etching integrated circuit material with the thickness of less than 1.5 μm, Nitrogen trifluoride memiliki laju etsa dan selektivitas yang sangat baik, terlebih lagi, tidak ada polusi pada permukaan bahan terukir, itu juga merupakan agen pembersih yang baik.